《半導體工程學》

在中文(正體中文,簡體中文)的《量子化學》、《化學熱力學》、《固態物理學》、《電動力學》、《量子力學》、《統計力學》以及《古典力學》之後，就提一下《半導體工程學》吧!

「臺灣積體電路製造乃台灣之護國神山・矽盾」

《輸送現象與單元操作》

成大化工學系的葉和明老師所編著的《輸送現象與單元操作》，此乃奠定製程的基礎。

《奈米材料科技原理與應用》、《奈米科技導論》

清大化工學系的馬振基老師所主編的《奈米材料科技原理與應用》以及大同大學光電工程研究所地的羅吉宗老師所主編的《奈米科技導論》是對於奈米製程所需要的入門參考書。

《半導體元件物理學》、《半導體製程概論》

施敏院士所編著的權威著作。

《半導體製程技術導論》

蕭宏所著的半導體製程之聖經本。

《新世代積體電路製程技術》

台灣電子材料與元件協會所編著的新世代積體電路製程技術，"較"為先進製程的入門參考書。